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本文介绍的半导体式气体传感器工作原理适用于所有日本Figaro弗加罗公司的TGS8xx,TGS2xxx和TGS3xxx系列传感器。
图1示出TGS26xx系列传感器作为一个例子的基本气体传感器结构 的气体传感器组成的感测元件,传感器基座和传感器帽。感测元件包含传感材料,加热器和加热传感元件(例如400)。根据目标气体中,感测元件将利用不同的材料如二氧化锡(SnO3),氧化钨(WO3), 当在一定的高温下在空气中被加热的金属氧化物晶体如SnO2,氧被吸附在晶体表面带有负电荷。然后捐助在晶体表面的电子被转移到吸附的氧,从而离开空间电荷层中的正电荷。
因此,表面电位的形成作为对电子流(图2)的势垒。 加入传感器,电流流过的氧化锡微晶体的结合部分(晶界)。在晶粒边界处,吸附的氧形成的势垒,防止载流子从自由移动。的传感器的电阻是归因于该势垒, 在脱氧的气体的存在下,带负电荷的oxyge的表面密度降低,因此在晶粒边界的势垒高度的降低(图3和图4)。
降低势垒高度降低传感器电阻 传感器的电阻和脱氧的气体浓度之间的关系可以表示气体浓度超过一定范围由下面的等式:
由于传感器电阻和气体浓度之间的关系的对数的斜率,半导体型传感器具有高灵敏度,即使在低的气体浓度的气体的一个优点。 优良的稳定性和性能半导体型传感器提供免维护,长寿命,并且成本低的气体检测。 费加罗提供具有不同的灵敏度特性的各种传感器,通过选择最合适的组合感测传感器材料的材料,温度和活性。
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