欧姆龙推出世界最高水准、低功耗MEMS压力传感器
传感器商城 研发商城 / 2013-06-29
欧姆龙株式会社宣称：能精确检测高低差50厘米气压变化的"绝对压力传感器"，拟于2013年7月29日隆重上市。
为了满足对获取高质量运动、生活信息等方面的期待不断升温的新型可佩戴装置，以及可实现细致入微健康管理的保健装置等对更精确检测高低差的需求，该压力传感器充分发挥欧姆龙核心技术之一的MEMS技术，实现了高精度。与此同时，在电池驱动必不可少的低功耗方面也达到了世界最高水准。
该绝对压力传感器通过将CMOS电路与MEMS传感器合为一体，实现了长3.8毫米×宽3.8毫米×厚0.92毫米的小型封装，从而更加适用于移动装置等小型设备的装配。通过装配在活动量计上，即可检测以前极为难测的上下楼梯等有高低差的运动，能为更精准地算出体能消耗做出贡献。并通过发挥低能耗的特点，还适用于活动量计等电池驱动的应用方式，为电池的长寿命化做出贡献。
通过高精度感应高低差，可辨别站、坐、躺、跌倒等人体动作，提供更有价值的信息。非常适用于健身、智能手表、老年人的看护等应用。
而且，它还是一款能提高导航系统GPS(全球定位系统)功能精度、增强室内导航功能、最适用于最近配有气象监测、气压传感功能急剧增多的智能手机及平板电脑的传感器。
本公司今后也将充分发挥欧姆龙独创的MEMS技术，为社会做出贡献。
压力传感器特点：
1. 拥有相当于大约50厘米高低差气压变化的6Pa相对压力检测精度；
2. 拥有0.06Pa(相当于5毫米)的高分辨率；
3. 封装尺寸：长3.8毫米×宽3.8毫米×厚0.92毫米的小型尺寸；
4. 芯片尺寸：通过将CMOS电路与MEMS传感器融为一体，实现长1.9毫米×宽1.9毫米×厚0.5毫米的小型尺寸；
5. 拥有300～1100hPa的宽检测范围；
6. 能为电池长寿命化做出贡献的0.3～9.0uA低消耗电流；
7. 内置温度传感器，能补偿传感器周围温度变化对气压变动造成的影响；
8. 采用I2C输出方式，应对串联通信。
该传感器充分应用本公司长年积累的半导体电路设计技术、CMOS信号处理技术以及MEMS技术，在单芯片中集成了压力传感器、模拟放大电路、数字化信号处理电路、非易失性存储器等各项功能，从而可提高芯片的小型化、高性能化，以及抗噪性能。
而且，该传感器还通过应用MEMS粘接技术，可加大传感芯片内部的真空空腔容积，从而能使传感器的输入动态范围最大化，实现高精度检测。
